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品牌 | CIF | 產地類別 | 國產 |
---|---|---|---|
應用領域 | 醫療衛生,環保,生物產業,地礦,能源 |
產品特點
◆ 遠(yuan)程離(li)子清洗源
◆ 清洗(xi)快速、高效
◆ 低轟擊損傷
技術參數
產品型(xing)號(hao) | CIF-SEM |
法蘭接(jie)口 | KF40(CF40) |
工作氣(qi)壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz 射頻(pin)電源,射頻(pin)功率 5-150W 可(ke)調 |
遠程(cheng)等離子源,自動匹配器 | |
氣(qi)體控制 | 標配單路質量流(liu)量計(MFC)可選雙路。0-500sccm,自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響 |
氣(qi)源選擇 | 根據需求氧氣(qi)、氬氣(qi)、氮氣(qi)、氫(qing)氣(qi)等多種(zhong)清(qing)洗氣源選(xuan)擇(ze) |
真空保證 | 真空(kong)計和電磁閥安(an)全互鎖(suo) |
操(cao)控方式(shi) | 7 寸全(quan)彩觸(chu)摸屏(ping)控制(zhi),中英文(wen)互(hu)動操作界面 |
電源 / 功率 | AC220V,50/60Hz,300W |
可選配件 | 可(ke)選氧(yang)氣、氮氣、氫氣發生(sheng)器(qi), 氫(qing)氣(qi)純度﹥ 99.999%,輸出流(liu)量 0-500SCCM |
質量保(bao)證 | 二(er)年質保,終身維護 |
產(chan)品尺寸(cun) | L320xW385xH465mm |
包裝(zhuang)尺寸 | L440xW535xH725mm |
整機重量 | 25 |
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